性能
泵的極限壓力為10
-9Pa,工作壓力范圍為10
-1~10
-8Pa,
抽氣速率為幾十到幾千升每秒(1L=10
-3m
3)。
渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)(氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面尺寸的流態(tài))下工作才能顯示出它的優(yōu)越性,因此要求配有工作壓力為1~10-2Pa的前級(jí)真空泵。


特點(diǎn)
抽速大、無(wú)油、啟動(dòng)快、無(wú)油污染、維護(hù)簡(jiǎn)單
工作范圍:清潔的低真空~中、高真空,大氣~超高真空
極限真空:10-6/ 10-10torr
缺點(diǎn):結(jié)構(gòu)復(fù)雜、對(duì)軸承耐磨程度要求高、制造成本高

